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多片式HVPE生长系统

2017-05-02 发布者:admin  

    南京大学在该领域的研究处于领先地位,在在HVPE设备的研制和GaN的HVPE生长方面具有深厚的基础。目前已研制成功卧式HVPE(6片机)和推广型立式HVPE生长系统,拥有多项独有的设备专利和技术专利。
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