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极深紫外光源与纳米器件制造

2017-05-04 发布者:admin  

徐永兵课题组于2014年启动了国家重大仪器研究计划(飞秒级时间分辨并自旋分辨电子能谱探测系统,项目编号61427812)。此项目就是旨在建立国内第一套极深紫外的光源系统。目前已经成功地在实验室中,实现了波长为120~24 nm左右的脉冲光源,脉冲重复频率为1kHz,单个脉冲为30fs。单个光子能量最大到50 eV左右,亮度为1 ´ 1011光子/s。从光通量上看,已经在世界上的同类光源中做到了第一,比第二的英国卢瑟福实验室的XUV光源还高出一个数量级。课题组已经成功申请了多项发明技术专利。

实验室中,正在进行第二代的XUV光源开发。计划将脉冲光源的重复频率提高到10 kHz。重复频率提高10倍,理论上可以提高XUV光源的亮度10倍。利用XUV光源的实验将可以大幅度缩短数据采集时间,使得普通的实验室,可以真正获得了相当于同步辐射光源的测量速度。

这种实验室内的桌面上的极深紫外光源可以部分取代同步辐射的功能,在众多的科研院所有广泛的需求。大型的、高亮度的极深紫外光源,也可以用于开发先进的紫外光刻光源。高能光子对于科研领域有重要的意义,在物理、材料、生物等领域有广泛的需求。

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