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高端生长设备与新型微纳电子材料

2017-05-04 发布者:admin  

新型微纳电子材料的不断涌现,尤其是最近几年二维材料(石墨烯、二硫化钼、拓扑绝缘体等)的出现,对生长设备提出了更高的要求。在科研生产领域,以分子束外延系统为代表的高端生长设备,长期被欧美进口设备所垄断。
​   目前,国内的真空设备厂家的技术加工的硬件水平已经达标,所欠缺的就是一个整体系统设计。徐永兵课题组的青年千人何亮教授在超高真空薄膜生长领域,具有超过十五年的研究工作经验。熟悉物理薄膜沉积的各种技术,尤其是分子束外延技术,已获得发明专利5项。2014年回国以后,徐永兵课题组团队已在南京大学自主设计,并制造了一套分子束外延系统(英国代工),一套超高真空互联系统(中国制造),一套脉冲激光沉积系统(中国制造)。目前已正常运行,达到设计指标,完全媲美了欧美的同类产品。未来将瞄准科研领域,具有广泛需求的紧凑型分子束外延生长系统,超高真空磁控溅射系统,脉冲激光沉积系统等市场,大力推进国内的高端生长设备。

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